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2013-05-23 12:21
求翻译：Method for depositing compound semiconductor material on substrate used for manufacturing semiconductor device, involves vaporizing precursor liquid containing gallium chloride, and flowing obtained precursor vapor into reactor是什么意思？ 待解决
 悬赏分：1
- 离问题结束还有
Method for depositing compound semiconductor material on substrate used for manufacturing semiconductor device, involves vaporizing precursor liquid containing gallium chloride, and flowing obtained precursor vapor into reactor
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
方法在用于制造半导体器件的衬底上沉积化合物半导体材料，涉及汽化含有氯化镓前体的液体，并且流经得到的前体的蒸气进入反应器
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2013-05-23 12:23:18
放置的化合物半导体材料方法在为制造半导体装置使用的基体，介入汽化前体液体包含的镓氯化物和流动的得到的前体蒸气入反应器
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2013-05-23 12:24:58
方法为放置Ⅰ - Ⅴ族化合物半导体材料在用于制造业半导体装置的基体，介入汽化前体液体包含的镓氯化物和流动的得到的前体蒸气入反应器
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2013-05-23 12:26:38
用于制造半导体器件的衬底上沉积复合半导体材料的方法涉及到气化含镓盐的前体液体和流动入反应器获得前体汽
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2013-05-23 12:28:18
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