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2013-05-23 12:21
求翻译：System for depositing III-V semiconductor material on workpiece substrate in manufacture of semiconductor device, has chamber and substrate support structure onto which workpiece substrate is loaded, and unloaded through access gate是什么意思？ 待解决
 悬赏分：1
- 离问题结束还有
System for depositing III-V semiconductor material on workpiece substrate in manufacture of semiconductor device, has chamber and substrate support structure onto which workpiece substrate is loaded, and unloaded through access gate
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
系统，用于对工件的基底在制造半导体器件的沉积III-V半导体材料，具有在其上的工件衬底被加载，并通过存取栅极卸载室和衬底支撑结构
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2013-05-23 12:23:18
放置的III-V半导体材料系统在半导体装置制造的制件基体，有上制件基体通过通入门被装载，并且被卸载的房间和基体支持结构在
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2013-05-23 12:24:58
系统为放置III-V半导体材料在制件基体在半导体装置制造，有制件基体通过通入门被装载，并且被卸载的房间和基体支持结构
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2013-05-23 12:26:38
系统为工件制造的半导体器件的衬底上沉积 III-V 半导体材料具有分庭和衬底支持的结构到哪些工件上衬底是，加载和卸载通过访问门
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2013-05-23 12:28:18
为存放系统III-V半导体材料在工件上的纸张在制造半导体设备,分庭支助结构和承印物上,工件基材是加载和卸载通过门
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