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2013-05-23 12:21
求翻译：The loadlock module provides the wafers to the bonding module at vacuum pressure close to the low-pressure of the evacuated vacuum chamber of the bonding module for switching of the bonding module from vacuum pressure to atmospheric pressure and vice versa, so as to avoid transferring of the wafers from the loadlock mo是什么意思？ 待解决
 悬赏分：1
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The loadlock module provides the wafers to the bonding module at vacuum pressure close to the low-pressure of the evacuated vacuum chamber of the bonding module for switching of the bonding module from vacuum pressure to atmospheric pressure and vice versa, so as to avoid transferring of the wafers from the loadlock mo
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
承载室模块提供的晶圆键合模块在真空压力接近的接合模块的开关由真空压力至大气压，反之亦然低压接合模块的抽空真空室，从而避免转的将晶片从承载室模块到接合模块。
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2013-05-23 12:23:18
loadlock模块提供薄酥饼给接合模块以接近低压的真空压力接合模块的撤出的真空箱为换成从真空压力的接合模块大气压反之亦然，以便避免转移薄酥饼从loadlock模块到接合模块。
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2013-05-23 12:24:58
loadlock模块提供薄酥饼给接合模块以真空压力紧挨低压接合模块的搬空的真空室为接合模块的开关从真空压力给大气压和反之亦然，以便避免转移薄酥饼从loadlock模块到接合模块。
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2013-05-23 12:26:38
Loadlock 模块提供的粘接模块在真空压力接近的低压真空真空室的粘接模块的晶片的粘接模块从真空压力为大气压，反之亦然，开关，以避免转移，晶圆的 loadlock 模块到粘接模块。
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2013-05-23 12:28:18
loadlock模块提供的晶圆的绑定模块,在真空压力关闭低压力的疏散真空腔的绑定模块的切换的绑定模块从真空压力为大气压,反之亦然,以避免将晶圆的从loadlock模块绑定模块。
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