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2013-05-23 12:21
求翻译：The deposition system enables the introduction of relatively large quantities of high temperature precursor gases into the reaction chamber while maintaining the precursor gases spatially separated from one another until the gases are located in the immediate vicinity of the workpiece substrate onto which material is t是什么意思？ 待解决
 悬赏分：1
- 离问题结束还有
The deposition system enables the introduction of relatively large quantities of high temperature precursor gases into the reaction chamber while maintaining the precursor gases spatially separated from one another until the gases are located in the immediate vicinity of the workpiece substrate onto which material is t
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
沉积系统使引入相对大量的高温前驱气体的引入反应室，同时保持所述前体气体从彼此在空间上分开，直到气体存在于工件基底到其上的材料将被沉积的附近，从而提高了在该前体气体的利用效率。
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2013-05-23 12:23:18
证言系统使能相对地很大数量的高温前体气体的介绍入反应房间，当维护从互相时空间地分离的前体气体，直到气体位于上材料将被放置，因而改进在前体运用的效率供气制件基体的临近地区在。
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2013-05-23 12:24:58
证言系统使能相对地很大数量的高温度前体气体的介绍入反应房间，当维护空间前体气体从互相时分离了，直到气体位于材料将被放置，因而改进效率在前体运用供气制件基体的临近地区。
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2013-05-23 12:26:38
沉积系统使相对较大数量的高温前体气体引入反应室，同时保持空间上分离从另一个，直到气体都位于工件基体上哪些材料的紧邻的前体气体的要存放，从而提高在前体气体的利用效率。
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2013-05-23 12:28:18
该书面供词的系统,可以采用的数量相对较大的高温度前体气体进入反应室的前体在保持空间分隔气体从一个另一个节点,直到气体位于附近的工件基体的材料上,存入,从而提高其效率的利用前体气体。
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