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2013-05-23 12:21
求翻译：The deposition techniques for Si films run the gamut from single-crystal deposition using crystalline substrates to microcrystalline Si thin films on glass or steel foil. A variety of techniques are now used for the deposition of thin films for solar cells [73, 74]. These include RF and DC glow-discharge techniques suc是什么意思？ 待解决
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The deposition techniques for Si films run the gamut from single-crystal deposition using crystalline substrates to microcrystalline Si thin films on glass or steel foil. A variety of techniques are now used for the deposition of thin films for solar cells [73, 74]. These include RF and DC glow-discharge techniques suc
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
对硅薄膜沉积技术，利用单晶衬底微晶硅薄膜在玻璃或钢箔从单结晶沉积运行域。
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2013-05-23 12:23:18
Si影片的证言技术从单一水晶证言范围广使用水晶基体对在玻璃或钢箔的微晶质Si薄膜。各种各样的技术为薄膜的证言现在使用的太阳能电池[73， 74]。这些包括RF，并且DC辉光放电的技术例如等离子改进的CVD (PECVD)，热线CVD (HWCVD)，电子回旋共振CVD (ECRCVD)和其他微波和等离子射线证言方法。
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2013-05-23 12:24:58
Si影片的证言技术从唯一水晶证言在玻璃或钢箔范围广使用水晶基体对微晶质Si薄膜。 各种各样的技术为薄膜的证言现在使用的太阳能电池 (73， 74)。 这些包括RF，并且DC辉光放电的技术例如血浆改进的CVD (PECVD)，热线CVD (HWCVD)，电子回旋加速器共鸣CVD (ECRCVD)和其他微波和血浆射线证言方法。 这些， PECVD系统是非常合适的到大区域证言。 一些更新的技术，例如ECRCVD，遥远的由血浆协助的CVD和HWCVD有producedmaterials与有趣的物产例如更低的瑕疵密度，更加了不起的少数载体扩散长度，并且降低氢含量。 其中一些技术也许拥有诺言为将来。
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2013-05-23 12:26:38
Si 薄膜的沉积技术从单结晶沉积使用对微晶硅薄膜的结晶基板玻璃或钢箔上运行色域。为沉积的薄膜太阳能电池 [73，74] 现在使用的各种技术。这些产品包括射频和直流辉光放电技术如等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)，热丝化学气相沉积 (HWCVD)、 电子回旋共振化学气相沉积 (ECRCVD) 和其他微波和等离子束沉积方法。其中，PECVD 系统非常适合大面积的供词。有些较新的技术，例如 ECRCVD、 远程等离子体辅助化学气相沉积和 HWCVD producedmaterials 与缺陷密度较低、 更大的少数载流子扩散长度和低氢浓度等有趣的性质。这些技术的一些可能预示着未来。
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2013-05-23 12:28:18
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