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2013-05-23 12:21
求翻译：This work presents a model and measured data for the sensitivity and LOD of a MEMS resonant cantilever chemical sensor. The microcantilever is fabricated in a complementary metal oxide semiconductor (CMOS) MEMS last process. The post-CMOS MEMS fabrication process capitalizes on the ease of integration between micromech是什么意思？ 待解决
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This work presents a model and measured data for the sensitivity and LOD of a MEMS resonant cantilever chemical sensor. The microcantilever is fabricated in a complementary metal oxide semiconductor (CMOS) MEMS last process. The post-CMOS MEMS fabrication process capitalizes on the ease of integration between micromech
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
这项工作提出了一个模型和测得的数据进行的MEMS谐振悬臂化学传感器的灵敏度和检测限。
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2013-05-23 12:23:18
这工作提出模型和被测量的数据为MEMS共振悬臂式化工传感器的敏感性和LOD。microcantilever在一个互补金属氧化物半导体(CMOS) MEMS被制造最后处理。之后CMOS MEMS制造过程通过制造感觉电子和打MEMS结构的基础利用综合化舒适在式微机械结构和CMOS电路之间的在同样过程步期间。
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2013-05-23 12:24:58
这工作提出一模型和被测量的数据为MEMS共振悬臂式化工传感器的敏感性和LOD。 microcantilever在一个补全金属氧化物半导体CMOS (MEMS) 被制造最后处理。 岗位CMOS MEMS制造过程通过制造感觉电子和打基础利用综合化舒适在micromechanical结构和CMOS电路之间为MEMS结构在同样过程步期间。 这个过程消灭对岗位CMOS对准线或综合化步的需要。 总值MEMS结构是小和当地集成以感觉电子。
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2013-05-23 12:26:38
这项工作提出了一种模型和测量的数据的敏感性和 LOD 的 MEMS 谐振悬臂化学传感器。微悬臂梁被捏造的互补金属氧化物半导体 (CMOS) MEMS 最后进程中。开机自检-CMOS MEMS 制造工艺利用简易的微机械结构和 CMOS 电路之间的整合由捏造感电子和在相同的进程步骤期间奠定 MEMS 结构的基础。此过程消除了需要开机自检-CMOS 对齐方式或集成的步骤。由此产生的 MEMS 结构是小并感电子与本机集成。
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2013-05-23 12:28:18
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