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2013-05-23 12:21
求翻译:Measurements of Corner Rounding in 2D Contact Holes on Phase-Shift Masks Using Broadband Reflectance and Transmittance Spectra in Conjunction with RCWA是什么意思?![]() ![]() Measurements of Corner Rounding in 2D Contact Holes on Phase-Shift Masks Using Broadband Reflectance and Transmittance Spectra in Conjunction with RCWA
问题补充: |
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2013-05-23 12:21:38
圆角的在相移掩模结合严格耦合波分析使用宽带反射和透射光谱二维接触孔的测量
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2013-05-23 12:23:18
环绕在相移面具的第2个联络孔的角落的测量使用宽频反射率和透射率光谱与RCWA一道
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2013-05-23 12:24:58
环绕在第2个联络孔的角落的测量在相移面具使用宽频反射率和透射率光谱与RCWA一道
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2013-05-23 12:26:38
上移相口罩使用宽带的反射率和透过率光谱中与 RCWA 一起在 2D 的接触孔圆角的测量
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2013-05-23 12:28:18
在 2D 接触中圆满结束的角落的度量法搭配 RCWA 在使用宽带反映和 Transmittance 光谱的阶段改变的面罩上打洞
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