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2013-05-23 12:21
求翻译:If it is happen any where without re-initialize then check the Y drive rod anchor whether it tighten. We could use LVDT measure the stage move (10um move in Y through manual assist, LVDT should read 10um)是什么意思? 待解决
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If it is happen any where without re-initialize then check the Y drive rod anchor whether it tighten. We could use LVDT measure the stage move (10um move in Y through manual assist, LVDT should read 10um)
问题补充: |
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2013-05-23 12:21:38
如果是发生在任何地方,而无需重新初始化,然后检查在Y驱动杆锚是否拧紧。
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2013-05-23 12:23:18
如果它是发生其中任一无重新起首然后检查Y推进标尺船锚的地方它是否拉紧。我们可能使用LVDT措施阶段移动(10um在Y的移动通过手工协助, LVDT应该读10um)
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2013-05-23 12:24:58
如果它是发生其中任一无重新起首然后检查Y推进标尺船锚的地方它是否拉紧。 我们在Y可能使用LVDT措施 (阶段移动10um移动通过手工协助, LVDT应该读10um)
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2013-05-23 12:26:38
如果它是发生任何地方没有重新初始化,然后检查 Y 驱动杆锚是否它拧紧。我们可以使用阶段移动的 LVDT 措施 (10um 移动 y 通过手动协助 LVDT 应改为 10um)
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2013-05-23 12:28:18
如果它是发生任何哪里无是否它紧缩重新初始化然后检查 Y 行驶棍棒锚。我们可以使用 LVDT 手段阶段的行动 (10um 通过手动的帮助周旋于 Y, LVDT 应该阅读 10um)
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