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2013-05-23 12:21
求翻译:About 20% of coated wafers were found resist residue at wafer edge due to not enough back side rinse. We reworked 4 lots of coated wafers, and tomorrow we need to spend more time with customer to optimize the resist coating process.是什么意思? 待解决
悬赏分:1
- 离问题结束还有
About 20% of coated wafers were found resist residue at wafer edge due to not enough back side rinse. We reworked 4 lots of coated wafers, and tomorrow we need to spend more time with customer to optimize the resist coating process.
问题补充: |
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2013-05-23 12:21:38
约20 %被发现涂覆的晶片的光刻胶残渣在晶圆边缘,由于没有足够的背面冲洗。
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2013-05-23 12:23:18
找到大约20%上漆的薄酥饼抵抗残滓在薄酥饼边缘由于没有足够的后部冲洗。我们整顿了4许多上漆的薄酥饼,并且我们明天需要花费与顾客的更多时间优选抵抗涂上的过程。
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2013-05-23 12:24:58
大约20%上漆的薄酥饼被发现了抵抗残滓在薄酥饼边缘由于没有足够的后部冲洗。 我们整顿了4许多上漆的薄酥饼,并且我们明天需要花费更多时间与顾客优选抵抗涂层过程。
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2013-05-23 12:26:38
大约 20%的涂层晶片在硅片边缘由于没有足够的背面冲洗发现了抗渣。我们返工涂层的晶片,4 批和明天我们需要花更多时间与客户优化抗涂装工艺。
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2013-05-23 12:28:18
涂上一层的晶片的大约 20% 被找到在晶片边缘抵抗残留物即将不足够回支持清洗。我们重做很多涂上一层的晶片,明天我们需要跟客户一起度过更多时间优化抵抗层的过程。
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