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匿名	关注：1 2013-05-23 12:21 求翻译：Chemical mechanical polishing in the dry lubrication regime: Application to conductive polysilicon是什么意思？待解决悬赏分：1 - 离问题结束还有 Chemical mechanical polishing in the dry lubrication regime: Application to conductive polysilicon 问题补充：

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求翻译：Chemical mechanical polishing in the dry lubrication regime: Application to conductive polysilicon是什么意思？