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2013-05-23 12:21
求翻译：Helium based atmospheric pressure water vapor plasma was generated by applying a 13.56 MHz RF power between the electrodes. The gap between the powered electrode and the SiC wafer was 1 mm. Table I shows the experimental parameters of plasma irradiation.Thermal-oxidation of a SiC-C face was also conducted using a minia是什么意思？ 待解决
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Helium based atmospheric pressure water vapor plasma was generated by applying a 13.56 MHz RF power between the electrodes. The gap between the powered electrode and the SiC wafer was 1 mm. Table I shows the experimental parameters of plasma irradiation.Thermal-oxidation of a SiC-C face was also conducted using a minia
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
氦基于大气压的水蒸汽等离子体是由在电极之间施加13.56MHz的RF功率产生。
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2013-05-23 12:23:18
氦气基于大气压水蒸气等离子是通过申请在电极之间的13.56 MHz RF力量引起的。供给动力的电极和SiC薄酥饼之间的空白是1 mm。表我显示等离子辐照区域的实验参量。使用一微型灯annealer， SicC面孔的热量氧化作用也被举办了。
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2013-05-23 12:24:58
氦气基于大气压水蒸气血浆是通过申请13.56兆赫RF力量引起的在电极之间。 供给动力的电极和SiC薄酥饼之间的空白是1毫米。 表I显示血浆辐照区域的实验性参量。SiC-C面孔的热量氧化作用使用一微型灯annealer也被举办了。
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2013-05-23 12:26:38
氦根据大气压力水蒸气等离子是由所述电极之间的 13.56 m h z 射频电源的应用生成的。供电的电极和碳化硅晶片之间的差距是 1 毫米表显示了等离子体辐照的实验参数。采用微型灯退火炉也进行了热氧化的 SiC C 面。
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2013-05-23 12:28:18
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