求翻译：Using a copper and polymer material set requires copper CMP over a relatively soft ILD, a process which is not well understood.是什么意思？

待解决

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Using a copper and polymer material set requires copper CMP over a relatively soft ILD, a process which is not well understood.

问题补充：

匿名	2013-05-23 12:21:38 使用铜和聚合物材料集需要铜的CMP在相对软的ILD ，这一过程不能很好地理解。

匿名	2013-05-23 12:23:18 使用铜缆和高分子材料设置需要铜CMP在一个较软ild。这一过程并不十分了解。

匿名	2013-05-23 12:24:58 使用铜和聚合材料集合要求铜CMP在相对地软的ILD，不是好的被了解的过程。

匿名	2013-05-23 12:26:38 使用铜和高分子材料集需要铜 CMP 超过相对较软的 ILD，一个过程，不很清楚。

匿名	2013-05-23 12:28:18 使用被设置的一种铜和聚合体材料在一相对软的 ILD，不好地被理解的一个过程期间需要铜 CMP。

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