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  • 匿名
关注:1 2013-05-23 12:21

求翻译:The entire damascene patterning process consists of etching a pattern into the ILD, blanket deposition of metal and planarization by metal CMP, leaving only the recessed metal in the ILD.是什么意思?

待解决 悬赏分:1 - 离问题结束还有
The entire damascene patterning process consists of etching a pattern into the ILD, blanket deposition of metal and planarization by metal CMP, leaving only the recessed metal in the ILD.
问题补充:

  • 匿名
2013-05-23 12:21:38
整个镶嵌图案化工艺包括蚀刻模式进入ILD的,金属和平坦化金属CMP的厚沉积,只留下在ILD凹陷的金属。
  • 匿名
2013-05-23 12:23:18
整个的damascene图案的蚀刻过程包含一个模式在ild、毛毯沉积的金属和金属的planarization CMP,只留下的凹槽金属在ild。
  • 匿名
2013-05-23 12:24:58
整个波状花纹的仿造的过程包括铭刻样式入ILD,金属的毯子证言和planarization由metal CMP,把仅被隐藏的金属留在ILD。
  • 匿名
2013-05-23 12:26:38
加工过程对整个大马士革包括进 ILD、 毯子沉积的金属和平整的金属 CMP,ILD 内留下只凹进的金属蚀刻图案。
  • 匿名
2013-05-23 12:28:18
磨制过程的整个波纹包含铜版画进到 ILD 的一种模式,金属和由金属所作的 planarization 的总括的沉积物 CMP,仅离开被暂停的装甲车乘 ILD。
 
 
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