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2013-05-23 12:21
求翻译：Without an etch stop the metal-2 trench thickness would be controlled by the ILD RIE etch depth, and subject to the RIE nonuniformity and reproducibility.是什么意思？ 待解决
 悬赏分：1
- 离问题结束还有
Without an etch stop the metal-2 trench thickness would be controlled by the ILD RIE etch depth, and subject to the RIE nonuniformity and reproducibility.
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
未经蚀刻停止金属-2沟槽厚度将由所述ILD RIE蚀刻深度进行控制，并受RIE不均及再现性。
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2013-05-23 12:23:18
如果没有一个蚀刻停止戴麟趾爵士2的金属厚度所受的管制,是ild除蚀刻深度,并在除nonuniformity和可重复性。
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2013-05-23 12:24:58
不用铭刻中止金属2沟槽厚度将被控制由ILD RIE铭刻深度和受RIE不一致和增殖率支配。
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2013-05-23 12:26:38
无刻蚀停止将控制金属 2 沟槽厚度 ILD RIE 刻蚀深度，并在施加的反应离子刻蚀均匀性和可重复性。
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2013-05-23 12:28:18
无蚀刻停止金属-2 的堑壕厚度会被 ILD RIE 控制蚀刻深度，取决于 RIE nonuniformity 和再生产性。
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