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2013-05-23 12:21
求翻译:Since good etch selectivity can be obtained between the ILD and SiNx, this process works very well, but the addition of the SiNx does increase the effective ILD dielectric constant.是什么意思?![]() ![]() Since good etch selectivity can be obtained between the ILD and SiNx, this process works very well, but the addition of the SiNx does increase the effective ILD dielectric constant.
问题补充: |
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2013-05-23 12:21:38
由于良好的蚀刻选择性的ILD和氮化硅之间获得,这个过程中工作得非常好,但增加了氮化硅的确实增加有效ILD介电常数。
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2013-05-23 12:23:18
因为好的蚀刻选择性之间可以获得的ild和sinx,此过程的工作方式很好,但另外的sinx的并有效提高ild电介质常数。
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2013-05-23 12:24:58
因为好铭刻选择性可以获得在ILD和SiNx之间,这很好处理工作,但SiNx的加法增加有效的ILD介电常数。
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2013-05-23 12:26:38
因为好蚀刻选择性,可以取得 ILD 和氮化硅之间,这一过程作品非常好,但氮化硅并增加有效 ILD 介电常数。
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2013-05-23 12:28:18
从那以后好蚀刻选择性可以在 ILD 和 SiNx 之间被获取,这个过程很好地工作,但是 SiNx 的增加增强有效的 ILD 绝缘材料常量。
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