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2013-05-23 12:21
求翻译:With a single level damascene process this etch stop is not used, but may be replaced with an equivalent thickness SiNx polish stop.是什么意思? 待解决
悬赏分:1
- 离问题结束还有
With a single level damascene process this etch stop is not used, but may be replaced with an equivalent thickness SiNx polish stop.
问题补充: |
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2013-05-23 12:21:38
与单个级镶嵌工艺这个蚀刻停止没有被使用,但也可以替换为等效厚度的SiN x抛光停止。
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2013-05-23 12:23:18
与一个单一层次damascene处理此蚀刻停止是不使用,但可能会被替换为一个相当于厚度sinx波兰停止。
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2013-05-23 12:24:58
以一个单层波状花纹的过程没有使用这铭刻中止,而是也许用等效厚度SiNx擦亮剂中止替换。
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2013-05-23 12:26:38
这刻蚀的单个级别镶嵌工艺与停止不使用,但可能替换等效厚度 SiNx 波兰站。
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2013-05-23 12:28:18
以单个水平的波纹过程这蚀刻停止不被使用,但是可能被替换为对应的厚度 SiNx 擦亮停下来。
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