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2013-05-23 12:21
求翻译：For more aggressive features, the depth of focus of the exposure tool and process tolerance may not permit what was done here, and only single level damascene with patterning on planar surfaces may be possible.是什么意思？ 待解决
 悬赏分：1
- 离问题结束还有
For more aggressive features, the depth of focus of the exposure tool and process tolerance may not permit what was done here, and only single level damascene with patterning on planar surfaces may be possible.
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
更积极的功能，在曝光工具和工艺公差可能不允许什么这里是这样做，并与平面表面图案形成只有单级镶嵌的焦点深度是可能的。
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2013-05-23 12:23:18
有关更多侵略性功能,深度的重点曝光工具和流程容忍可能不允许在这里做了些什么,只有一个一级的damascene图案平面表面上是有可能的。
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2013-05-23 12:24:58
为更加进取的特点，景深曝光工具和过程容忍的可能不允许什么这里做了，并且只有单层波状花纹以仿造在平面表面也许是可能的。
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2013-05-23 12:26:38
更具侵略性的特点，重点曝光工具和流程宽容的深度可能不允许在这里，做什么和可能只有单层镶嵌图形在平面上。
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2013-05-23 12:28:18
对更具竞争性特征，暴露工具的焦点的深度和处理忍受不能允许在这里，仅完成的具有关平坦的表面的仿造的单个水平的波纹可能是可能的。
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