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关注：1
2013-05-23 12:21
求翻译：To simulate the sacrificial Ta removal after the metal-1 CMP, the copper was exposed to the Ta RIE.是什么意思？ 待解决
 悬赏分：1
- 离问题结束还有
To simulate the sacrificial Ta removal after the metal-1 CMP, the copper was exposed to the Ta RIE.
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
为了模拟在金属-1 CMP后在牺牲钽除去，在铜暴露在钽RIE 。
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2013-05-23 12:23:18
要模拟的献祭后拆除电讯管理局局长的金属1CMP,铜受到除电讯管理局局长。
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2013-05-23 12:24:58
要模仿牺牲Ta撤除在金属1 CMP以后，铜被暴露在Ta RIE。
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2013-05-23 12:26:38
为了模拟祭祀的 Ta 去除金属-1 CMP 后，铜被暴露在 Ta 反应离子刻蚀。
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2013-05-23 12:28:18
模拟 sacrificial Ta 删除在金属-1 的 CMP 之后，铜被暴露给 Ta RIE。
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