求翻译：These issues were the sacrificial Ta polish stop buckling on some samples, changes in the ILD RIE conditions due to photoresist removal during the是什么意思？

待解决

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These issues were the sacrificial Ta polish stop buckling on some samples, changes in the ILD RIE conditions due to photoresist removal during the

问题补充：

匿名	2013-05-23 12:21:38 在某些样品这些问题进行了牺牲钽抛光停止屈曲，由于在光致抗蚀剂去除的变化在ILD的RIE条件

匿名	2013-05-23 12:23:18 这些问题是电讯管理局局长的献祭品波兰停止扣在一些样本,ild的变化除条件由于在光阻剂去除

匿名	2013-05-23 12:24:58 这些问题是牺牲Ta擦亮剂中止折在有些样品的，在ILD RIE条件上的变化由于光致抗蚀剂撤除在期间

匿名	2013-05-23 12:26:38 这些问题的一些样品，由于过程中去除光刻胶 ILD 反应离子刻蚀条件的变化对屈曲的祭祀塔波兰站

匿名	2013-05-23 12:28:18 这些问题是 sacrificial Ta 擦亮停止系紧一些例子，由于抗照片的删除在 ILD RIE 条件中改变期间

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