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2013-05-23 12:21
求翻译：which case a huge amount of argon gas is usually used to purge of the residue oxygen in the chamber to protect the metal surface from being oxidized, beside hydrogen gas, and to dilute the precursor to lower deposition rate.是什么意思？ 待解决
 悬赏分：1
- 离问题结束还有
which case a huge amount of argon gas is usually used to purge of the residue oxygen in the chamber to protect the metal surface from being oxidized, beside hydrogen gas, and to dilute the precursor to lower deposition rate.
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
这种情况下，大量的氩气，通常用于吹扫残余氧在室中以保护金属表面的氧化，氢气的旁边，以稀释的前体，以较低的沉积速率。
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2013-05-23 12:23:18
这种情况下大量的氩气通常被用来清除残留氧的分庭保护金属表面被氧化,氢气旁边,并削弱的前身沉积率较低。
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2013-05-23 12:24:58
哪个案件每巨额氩气体通常用于对残滓氧气的清除在房间保护金属表面免受在氢气旁边被氧化，和稀释前体降低沉积率。
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2013-05-23 12:26:38
这种情况下产生大量气体氩气通常用来清除残留物中的氧气分庭以防止金属表面被氧化，旁边的氢气，并稀释到较低的沉积速率前体。
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2013-05-23 12:28:18
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