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2013-05-23 12:21
求翻译：Tool 161 happen wafer stage timed out moving to load position and stage X settling instability error.1) Alarm of Stage X Settling Instability: It happened on some specific steps intermittently.2) Alarm of Wafer Stage Timed out Moving to Load Position: It happened randomly on some wafers.是什么意思？ 待解决
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Tool 161 happen wafer stage timed out moving to load position and stage X settling instability error.1) Alarm of Stage X Settling Instability: It happened on some specific steps intermittently.2) Alarm of Wafer Stage Timed out Moving to Load Position: It happened randomly on some wafers.
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
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2013-05-23 12:23:18
工具161发生晶圆阶段超时移到装入位置和阶段X解决不稳定错误1)报警的阶段X解决不稳定:它发生在一些具体步骤intermittently.2)报警的晶圆阶段超时移动到装载位置:上随机地发生了一些晶圆厂。
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2013-05-23 12:24:58
工具161发生薄酥饼阶段被计时的移动向装载位置和阶段x安定的不稳定阶段) x安定的不稳定error.1警报： 它在某一具体步intermittently.2警报) 发生了薄酥饼阶段被计时的移动向装载位置： 它在有些薄酥饼任意地发生了。
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2013-05-23 12:26:38
工具 161 发生晶圆超时移动加载位置和 X 解决不稳定 error.1 阶段的阶段) 阶段 X 沉降稳定报警: 它发生在一些具体步骤 intermittently.2) 报警的硅片阶段超时迁到加载位置: 它随机发生一些晶圆上。
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2013-05-23 12:28:18
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