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2013-05-23 12:21
求翻译:AlN thin films have been grown on R((1-12) surface-cut)-Al2O3, SiO2-glass and C((001) surface-cut)-Al2O3 substrates, by using a reactive-RF-sputter-deposition method.是什么意思? 待解决
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AlN thin films have been grown on R((1-12) surface-cut)-Al2O3, SiO2-glass and C((001) surface-cut)-Al2O3 substrates, by using a reactive-RF-sputter-deposition method.
问题补充: |
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2013-05-23 12:21:38
null
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2013-05-23 12:23:18
AlN 适用 ) 薄膜生长了 R 上的函数 ( 12 ) 的表面上的剪切 ) 的 Al 2 O 3 、 SiO 2 玻璃和 C 函数 ( 001 ) 表面的剪切 ) 的 Al 2 O 3 基片 , 使用的是被动式的射频溅射沉积的方法。
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2013-05-23 12:24:58
薄膜在R 1-12增长((的AlN) 通过)使用易反应RF飞溅证言方法表面切开了-((氧化铝) 、)SiO2玻璃和C 001表面切开了-氧化铝基体。
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2013-05-23 12:26:38
氮化铝薄膜就在 R((1-12) 表面切地种植)-Al2O3、 SiO2 玻璃和 C((001) 的表面切)-Al2O3 衬底,采用无功射频溅射沉积方法。
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2013-05-23 12:28:18
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