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2013-05-23 12:21
求翻译：I arrived in Anxi in the morning, After checking Tool#155. Found when moving the wafer stage, the Y direction is jitter and noise. Clean Y drive rod, Increase Y motor lock and drag, After running the wafer stage is stable, no noise. PE verification products have no problem, after delivery of production use. We continue是什么意思？ 待解决
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- 离问题结束还有
I arrived in Anxi in the morning, After checking Tool#155. Found when moving the wafer stage, the Y direction is jitter and noise. Clean Y drive rod, Increase Y motor lock and drag, After running the wafer stage is stable, no noise. PE verification products have no problem, after delivery of production use. We continue
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
null
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2013-05-23 12:23:18
我到了中国在今天上午检查工具
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2013-05-23 12:24:58
我在Anxi到达了早晨，在检查Tool#155以后。 发现，当移动薄酥饼阶段， Y方向是焦虑和噪声时。 干净的Y推进标尺，增量Y马达锁和阻力，在跑薄酥饼阶段以后是稳定的，没有噪声。 PE证明产品没有问题，在生产用途之后交付。 我们继续监测这个问题，我现在回到了Xiamen.Thanks!
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2013-05-23 12:26:38
我在早晨，检查工具 #155 后抵达安溪。发现移动硅片阶段时，Y 方向是抖动和噪声。清洁 Y 传动杆、 增加 Y 电机锁、 拖后运行的硅片阶段是稳定，无噪音。PE 验证产品没有任何问题后交付生产使用。我们继续监测这一问题，现在我已经回到 Xiamen.Thanks!
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2013-05-23 12:28:18
正在翻译，请等待...
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