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  • 匿名
关注:1 2013-05-23 12:21

求翻译:非平衡磁控溅射沉积 Ta- N 薄膜的结构与电学性能研究是什么意思?

待解决 悬赏分:1 - 离问题结束还有
非平衡磁控溅射沉积 Ta- N 薄膜的结构与电学性能研究
问题补充:

  • 匿名
2013-05-23 12:21:38
null
  • 匿名
2013-05-23 12:23:18
The non-balanced magnetic sputter deposition collecting according to the structure of the film N electrical performance study
  • 匿名
2013-05-23 12:24:58
Non-balance magnetism controls the sputtering to deposit Ta- the N thin film structure and the electricity performance research
  • 匿名
2013-05-23 12:26:38
Unbalanced magnetron sputtering deposition study on the structure and electrical properties of Ta-N thin films
  • 匿名
2013-05-23 12:28:18
null
 
 
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