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2013-05-23 12:21
求翻译：The sensor design consists of a pressure sensitive polysilicon diaphragm. A force trancducing beam with a strain sensitive piezoresistor is attached to the underside of the diaphragm. The other end the beam is attached to the cavity edge, as shown in Figs. 1 and 2. Parallel to the force transducing beam, another beam w是什么意思？ 待解决
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The sensor design consists of a pressure sensitive polysilicon diaphragm. A force trancducing beam with a strain sensitive piezoresistor is attached to the underside of the diaphragm. The other end the beam is attached to the cavity edge, as shown in Figs. 1 and 2. Parallel to the force transducing beam, another beam w
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
传感器的设计包括压力敏感的多晶硅隔膜。的力量与应变敏感的压敏电阻trancducing梁连接的隔膜底面。连接到另一端的光束腔的边缘，在图所示。 1和2。另一个应变计束平行的力传导束，暂停两个对立的腔边缘。因此，这束没有附加的隔膜，因此没有压力诱导膜片挠度的影响。梁和应变计，全封闭内腔，真空压力参考的作用。
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2013-05-23 12:23:18
感应器的设计包含一个压力敏感多晶硅膜。 一队trancducing光束piezoresistor敏感的压力是附在车底的横膈膜。 在另一端的横梁是附在腔优势,显示在无花果。 1和2。 同时,部队频率元件的光束,另一个光束的压力计是暂停两种对立腔优势。
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2013-05-23 12:24:58
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2013-05-23 12:26:38
传感器的设计包括一个压力敏感多晶硅隔膜。力 trancducing 梁的应变敏感雷管相连的膜片底面。梁的另一端连接到腔的边缘，如图 1 和 2 中所示。并行部队换梁、 应变与另一束暂停两个反对腔边缘之间。因此，这梁未连接到横隔膜，因此不受压力诱导 deflection 隔膜。梁
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2013-05-23 12:28:18
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