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2013-05-23 12:21
求翻译：Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) is the integration of mechanical elements, sensors, actuators, and electronics on a common silicon substrate through microfabrication technology [5]. In the last few decades, miniaturization has been an important aspect in the development of technology. Smaller components make th是什么意思？ 待解决
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Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) is the integration of mechanical elements, sensors, actuators, and electronics on a common silicon substrate through microfabrication technology [5]. In the last few decades, miniaturization has been an important aspect in the development of technology. Smaller components make th
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
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2013-05-23 12:23:18
micro-electro-机械系统(mems)是一体化的机械元件、传感器、执行器和电子产品的一个通用芯片基材通过微制造技术[5]。 在过去几十年来,一直是一个重要微型化方面发展的技术。 更小的组件使系统更快、更可靠、更便宜,也有能力把更复杂的功能。
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2013-05-23 12:24:58
微电镀物品机械系统(MEMS)是机械元素、传感器、作动器和电子的综合化在共同的硅体通过microfabrication技术(5)。 在过去几年内，小型化是一个重要方面在技术的发展。 更小的组分使系统更加快速，可靠，便宜和能合并复函数。 这些微型零件也比常规宏观零件倾向于坚固性，迅速地反应，使用最小的力量，占领紧凑空间，并且经常经济的。 其中一个小型化的主要目标通过microengineering是能集成高度发达的技术在微电子学电路新颖的技术micromachined三维结构，为了导致完全地联合微电镀物品机械系统(MEMS)。
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2013-05-23 12:26:38
微型机电系统 (MEMS) 是机械零件、 传感器、 执行器、 和电子通过微细加工技术 [5] 常见的硅衬底上的整合。在过去的几十年里，小型化已在技术发展的一个重要方面。较小的组件，使系统更快、 更可靠、 更便宜和有能力将纳入更复杂的功能。这些微型零件也往往是粗犷、 快速响应、 使用最小功率、 占据紧空间，和往往比常规宏部分经济。小型化通过微型工程的主要目标之一是要能够融入在微机械三维结构，新技术，以便生成完全集成微型机电系统 (MEMS) 的微电子电路中的成熟的技术。
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2013-05-23 12:28:18
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