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  • 匿名
关注：1 2013-05-23 12:21

求翻译：Hitachi High-Tech's U-8250 offers high speed etching for high aspect ratio holes utilizing a VHF(*1) plasma source which has high electrical dissociation efficiency. Further, it is suitable for various applications such as spacer, hard mask and multi-layer resist patterning.是什么意思？

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Hitachi High-Tech's U-8250 offers high speed etching for high aspect ratio holes utilizing a VHF(*1) plasma source which has high electrical dissociation efficiency. Further, it is suitable for various applications such as spacer, hard mask and multi-layer resist patterning.
问题补充：
  • 匿名
2013-05-23 12:21:38
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  • 匿名
2013-05-23 12:23:18
日立高新技术的 U -8250提供高速蚀刻的高比率方面利用一个洞vhf(*1)等离子体源,已高电气离解效率。 进一步,它是适合各种应用,如塑封胶、硬膜及多层抵制渺小。
  • 匿名
2013-05-23 12:24:58
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  • 匿名
2013-05-23 12:26:38
日立高科技 U 8250 提供高速蚀刻利用 VHF(*1) 等离子体源具有高电分离效率高长宽比孔。此外，它是适用于各种应用，如垫片、 硬掩码和多层抵制阵列。
 
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