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2013-05-23 12:21
求翻译：This work demonstrates an electrostatically actuated resonant microcantilever fabricated in a complementary metal oxide semiconductor process and functionalized with a chemically sorbent polymer layer for the detection of volatile organic compounds. Deposition of the chemically sorbent layer is controlled through evapo是什么意思？ 待解决
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This work demonstrates an electrostatically actuated resonant microcantilever fabricated in a complementary metal oxide semiconductor process and functionalized with a chemically sorbent polymer layer for the detection of volatile organic compounds. Deposition of the chemically sorbent layer is controlled through evapo
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
这项工作表明一个静电驱动微悬臂梁的共振制作互补金属氧化物半导体工艺和官能化的化学吸附剂聚合物层为挥发性有机化合物的检测。
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2013-05-23 12:23:18
这工作展示一静电地开动的共振microcantilever制造在一个互补金属氧化物半导体过程中和functionalized与挥发性有机化合物的侦查的化工吸着剂聚合物层数。化工吸着剂层数的证言通过蒸发主导的汇编是受控的。被放置的聚合物的分析和有限元分析模型在microcantilever谐振频率分层堆积，并且提出大量敏感性。
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2013-05-23 12:24:58
这工作展示在一个补全金属氧化物半导体过程中制造的一静电地开动的共振microcantilever并且functionalized以化工吸着剂聚合物层数为挥发性有机化合物的侦查。 化工吸着剂层数的证言通过蒸发被驾驶的汇编是受控的。 被放置的聚合物的分析和有限元素分析模型在microcantilever谐振频率分层堆积，并且提出大量敏感性。 生产化工传感器，包括聚合物证言的描述通过蒸发被驾驶的汇编在血丝之内，是详细的。 完全地functionalized谐振器展示1.6 ppm的侦查极限为甲苯。 优选的聚合物敏感层数证言42%总射线长度被计量从频率不稳定和敏感性试验。
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2013-05-23 12:26:38
正在翻译，请等待...
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2013-05-23 12:28:18
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