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2013-05-23 12:21
求翻译：In the afternoon we checked the stage parallelism, and we found that Y stage parallelism was out. It was 2 um on yesterday, but on today it was 11 um. We adjusted the air bearing to bring the Y stage parallelism within 2 um.是什么意思？ 待解决
 悬赏分：1
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In the afternoon we checked the stage parallelism, and we found that Y stage parallelism was out. It was 2 um on yesterday, but on today it was 11 um. We adjusted the air bearing to bring the Y stage parallelism within 2 um.
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
在下午，我们检查阶段并行，而我们发现， Y平台并行出去了。
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2013-05-23 12:23:18
下午我们检查了阶段平行性，并且我们发现Y阶段平行性。它昨天2 um打开，但是在今天它是11 um。我们在2之内调整气浮轴承带来Y阶段平行性um。
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2013-05-23 12:24:58
下午我们检查了阶段平行性，并且我们发现Y阶段平行性。 它昨天2 um打开，但在今天它是11 um。 我们在2 um之内调整气浮轴承带来Y阶段平行性。
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2013-05-23 12:26:38
在下午，我们检查阶段并行，而且我们发现 Y 阶段并行出去了。昨天 2 嗯对，但今天它是 11 嗯。我们调整了空气轴承 um 带 Y 阶段并行 2 以内。
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2013-05-23 12:28:18
在下午我们检查阶段的平行，我们发现 Y 阶段平行是外面的。是 2 嗯上昨天，但是在今天它是 11 嗯。我们调整空气举止带来 2 中的 Y 阶段平行嗯。
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