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2013-05-23 12:21
求翻译：Also, the initial oxidation rates of thermal-oxidation and plasma oxidation were measured; it was found that the initial oxidation rate of plasma-oxidation was 6 times higher than that of thermal-oxidation. What’s more, the quality of the surface obtained by plasma-oxidation and soft abrasive polishing was much better 是什么意思？ 待解决
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Also, the initial oxidation rates of thermal-oxidation and plasma oxidation were measured; it was found that the initial oxidation rate of plasma-oxidation was 6 times higher than that of thermal-oxidation. What’s more, the quality of the surface obtained by plasma-oxidation and soft abrasive polishing was much better
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
另外，热氧化和等离子氧化的初始氧化速率测定;
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2013-05-23 12:23:18
并且，热量氧化作用的最初的氧化作用率和等离子氧化作用被测量了;发现等离子氧化作用的最初的氧化作用率高于那是6次热量氧化作用。什么是更多，等离子氧化作用和软绵绵地磨蚀擦亮得到的表面的质量好比商业使用的那是CMP。
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2013-05-23 12:24:58
正在翻译，请等待...
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2013-05-23 12:26:38
同时，测定了热氧化和等离子体氧化的初始氧化率 ；它发现等离子体氧化的初始氧化率高于热氧化高出 6 倍。更重要的是，通过等离子体氧化和软磨料抛光表面质量比，CMP 是商业用好多了。
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2013-05-23 12:28:18
另外，热氧化和血浆氧化的最初氧化比率被测量；被找到那血浆氧化的最初氧化比率是 6 倍比热氧化更高的。而且，被血浆氧化和软的磨料获取擦亮的表面的质量是比商业上被使用的 CMP 更好得多的。
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