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  • 匿名
关注：1 2013-05-23 12:21

求翻译：Patterning of such interconnect structures requires either damascene patterning or elevated temperature RIE patterning of the copper.是什么意思？

待解决 悬赏分：1 - 离问题结束还有
Patterning of such interconnect structures requires either damascene patterning or elevated temperature RIE patterning of the copper.
问题补充：
  • 匿名
2013-05-23 12:21:38
这种互连结构的图案形成要求要么镶嵌图案或铜的升高的温度下的RIE图案化。
  • 匿名
2013-05-23 12:23:18
图案的这种互连结构需要damascene图案或高温除图案的铜。
  • 匿名
2013-05-23 12:24:58
仿造的这样互联结构要求仿造或高温RIE仿造铜的波状花纹。
  • 匿名
2013-05-23 12:26:38
这种互连结构模式需要镶嵌图案或高温反应离子刻蚀图案的铜。
  • 匿名
2013-05-23 12:28:18
仿造这样地使结构互相连接需要仿造的每波纹或举起以铜仿造的温度的 RIE。
 
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