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2013-05-23 12:21
求翻译：Then the ILD was etched in an O2 and CF4 RIE, to etch the organic ILD plus etch the silicon in the BCB.是什么意思？ 待解决
 悬赏分：1
- 离问题结束还有
Then the ILD was etched in an O2 and CF4 RIE, to etch the organic ILD plus etch the silicon in the BCB.
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
然后在ILD进行蚀刻的O 2和CF 4的RIE ，蚀刻有机ILD加上蚀刻在BCB中的硅。
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2013-05-23 12:23:18
然后是蚀刻的ild的O2和CF4除,蚀刻蚀刻以及有机ild的BCB的硅片。
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2013-05-23 12:24:58
然后ILD在O2和CF4 RIE在BCB被铭刻，铭刻有机ILD加上铭刻硅。
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2013-05-23 12:26:38
然后 ILD 被铭刻在 O2 和 CF4 反应离子刻蚀，蚀刻有机 ILD 加上蚀刻在 BCB 硅。
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2013-05-23 12:28:18
然后 ILD 在一 O2 和 CF4 RIE 中被蚀刻，加上蚀刻有机 ILD 蚀刻在位控制块中的硅。
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